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电弧泵

电弧泵

  • 所属分类:电弧泵
  • 发布日期:2019-03-01
  • 点击次数:
  • 产品概述
  • 性能特点
  • 技术参数

低碳、无油、高效的电弧吸附泵

一、真空行业背景

(一)真空技术提供了除太空之外最清洁的环境,现已成为众多高新科技产业和重大科研装备的技术基础;

(二)然而,真空产业的核心—真空泵,几十年来,一直未能跟上产业发展的步伐,未有实质性的提升;

(三)其中,高能耗、高油蒸汽污染的“扩散泵”,问世至今已80年,一直占据着大型高真空设备的主流市场,制约了真空产业的发展。


二、高真空扩散泵的缺陷  高真空扩散泵

1.   扩散泵利用油蒸汽喷射抽气,油蒸汽污染严重,影响真空产品质量;

2.   能耗高。约30 kW(KT-800,包括前级泵);(扩散泵机组年耗电30万度/台。我国在用设备约10万台,耗电总量达300亿度/年)

3.  启动时间长(约1小时),降低产能;抽气不能中断,需要间断抽气的场合,(例如: 蒸发镀膜),抽气利用率不  到1/3,造成极大浪费;  体态粗笨,占地空间大。  


三、高真空泵的发展趋势

为消除油蒸汽污染,提高真空及产品质量:

●  近年来,部分高端设备采用POLYCOLD(-120℃ 深冷水汽泵) 辅助扩散泵抽气,抽气时间缩短,油蒸汽污染降低,取得一定成效。 

●  然而,设备费用和能耗成倍增加,加上油蒸汽污染源头 —“扩散泵”依旧存在, 油蒸汽污染无法消除,未能推广应用。


四、“电弧吸附泵”— 高真空技术的升级换代

本项目“电弧吸附泵”利用弧光放电+化学吸附抽气,具有显著优点:

    ●  大抽速, 最高抽速≥10万l/s;

    ●  低能耗,仅为扩散泵的1/10~1/3;

    ●  无油蒸汽污染;

    ●  启动迅速,<0.1sec,随用随开,抽气利用率100%;

    ●  体积小,不到扩散泵的1/3;

    ●  重量轻,不到扩散泵1/4。

电弧吸附泵


五、电弧钛泵典型应用:无油蒸发镀膜设备

无油蒸发镀膜设备


六、电弧钛泵必然取代扩散泵

项目创新点:

1.   攻克高真空弧光放电难题:(国际首创,弧光放电需要大量气体分子,与高真空不兼容);

2.   利用弧光放电 + 化学吸附,实现高真空抽气(国际首创);

3.   能耗低,仅为扩散泵机组的1/10~1/3;

抽气利用率100%,高出扩散泵1~2倍;

电弧吸附泵各项技术指标全面领先,将终结传统扩散泵!


七、市场需求分析

1.   我国扩散泵的市场需求(包括:蒸发镀膜、真空钎焊、

      真空熔炼、真空烧结和真空热处理等):          1,000 台/年

2.   电弧泵的年需求量(按取代其中80%测算): 800 台/年

3.   电弧泵机组的市场销售额(10万元/台):8,000万元/年   

4.   当年销售电弧泵的节电量(按节电24 kW/台,

      单班制,300天/年测算):4,600万度/年

5.   电弧泵机组,两年节省的电费,即可收回设备费用 


八、自主知识产权

本项目从理论创立、结构发明、直至工业应用,均由本研发团队独立完成,希望为“中国发明、中国制造”贡献一份绵薄之力!    

自主知识产权


资料整理中...

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