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立式径流分子泵

立式径流分子泵

  • 所属分类:其他
  • 发布日期:2018-12-10
  • 点击次数:
  • 产品概述
  • 性能特点
  • 技术参数

MB系列卧式径流分子泵   ML系列立式径流分子泵


 产品结构特点 

● 结构简单,转子全部由平圆盘组成(图1),攻克了分子泵涡轮转子易打片损坏的一大缺陷

图1径流泵的平圆盘转子  图2分子泵的涡轮转子

● ML系列立式径流泵采用独特的侧壁进气模式, 攻克了传统分子泵入口面积流导限制,无需提高转速,即可提高抽速50%。


 产品性能特点 

● 无需干式泵,获得低成本、大抽速、清洁无油真空,真空质量达到液氮冷阱(LN2) +干式泵的水平;

● 兼有中、高真空泵双重性能,一台泵取代二台真空泵,简化真空系统结构,节省设备费用和占地空间;

● 抽速大,高真空抽速高出分子泵50%,中真空抽速高达罗茨泵3~50倍;

● 能耗低,仅为分子泵的1/2,扩散泵的1/5,罗茨泵1/10;

● 体积小、重量轻,仅为分子泵的2/3,扩散泵的1/4,罗茨泵的1/10;


 技术参数  

项目

 单位

MB-150D

MB-200D

MB-250D

ML-200D

ML-250D

  进气口/排气口

  mm

Φ150/Φ30

Φ200/Φ40

Φ250/Φ50

Φ200/Φ40

Φ250/Φ50

  转速

  rpm

30,000

24,000

24,000

24,000

24,000

  抽速

  l/s

450

1,000

1,500

1,500

2,200

  最高进气压强

  Pa

100

100

100

50

50

  极限压强

  Pa

10-5

10-5

10-5

10-5

10-5

  起动时间

  min

3

6

6

6

6

  冷却水(25℃)

 l/min

3

6

6

6

6

  能耗

  kW

0.2

0.3

0.5

0.2

0.3

  重量

  kg

25

42

5

22

28

  前级泵

  l/s

4

25

25

15

15


 应用领域 

● 重离子加速器

● 太阳能电池、LED、显示屏、超级电容器、电力电容器

● 蒸发镀膜、光学镀膜、钛金镀膜、连续镀膜生产线、化学气相沉积

● 稀土永磁材料烧结、真空钎焊、真空热处理、真空脱羟

● 分子蒸馏、生物制药、冷冻干燥 

● 真空磁悬浮列车


 应用实例  

● 重离子加速器

MB-200径流泵取代液氮冷阱(LN2)+ EDWARDS螺杆泵, 获得清洁、无油真空, 真空质量达到国际领先水平,设备费用降至1/5(甘肃省科技厅甘科鉴字 [2010]第361号)。

● 蒸发镀膜

四台ML-250立式径流分子泵, 取代传统蒸发镀膜设备的K-800扩散泵+ZJ-1200罗茨泵机组, 抽气时间缩短1/3,产能显著提高,节省抽气能耗80%,消除油蒸汽污染,消除膜层色泽泛黄现象,显著提高膜层结合力,提升产品市场竞争力。

● 钛金蒸馏 

MB-250卧式径流泵,取代MB-250传统分子泵,镀膜压强提升一倍,工作气体流量翻二番,产能提高50%,镀膜工艺稳定,色泽一致性显著提高。

● 真空脱羟炉  

MB-250径流分子泵用于江苏×××石英制品有限公司真空脱羟炉,取代扩散泵机组,消除油蒸汽在石英管壁上留下的微量污痕,产品质量达到进口高档石英管,表观质量优于进口。

● 分子蒸馏 

MB-250卧式径流分子泵用于浙江××生物高科分子蒸馏设备,产品胆固醇的纯度由65%升至95%,产品由饲料级升至制药级,产能翻一番,节省抽气能耗80%。


 专用真空泵  

● 蒸发镀膜专用泵

ML系列立式径流泵是按取代传统高能耗、高油蒸汽污染扩散泵为目标研制的专用泵,该泵在高真空区段(≤0.1 Pa)的抽速高出MB系列卧式径流泵50%,而且体积小、重量轻,4台ML-250径流泵并联,即可取代一台K-800扩散泵+ZJ-1200罗茨泵机组。

● 分子蒸馏专用泵 

ME系列径流泵是按分子蒸馏的特殊要求研发的专用泵, 在分子蒸馏的主要工作区段(0.1~3Pa)具有最大抽速(高出罗茨泵10~50倍),已成为当今工业分子蒸馏设备的最佳选择。

ZJ-150 罗茨泵(150 l/s) 200KG	ME-200 分子蒸馏专用泵(1,500 l/s) 42KG


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