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攻破难关 电弧泵机加速产业升级

2019-07-19

INDUSTRY OBSERVE产业观


时段,占运行周期的比例很小(例如蒸发镀膜设备,不到有超强的高真空抽气能力(抽速超过50%),用于高真空区1/10),扩散泵启动时间长(约1小时),不能中断运行,导致抽气利用率大幅度下降,造成极大的浪费

段抽气,抽除高真空活性气体,能耗不到扩散泵1/2。

其实,真空产业还有一种真空泵:“低温泵”,同样通过电弧泵机组和扩散泵机组的性能比较,电弧泵机具有巨大抽速,而且还能获得无油真空。但该泵结构复杂组明显具有强大的竞争优势:抽气能力强。抽速高,高出

昆山分子泵.jpg

扩散泵机组50%;能耗低。相同抽速比较,能耗仅为扩散泵因其冷凝吸附面需定期更新,使用及其不便,加上设备费的1/6,节能超过80%;启动迅速,不到扩散泵万分之一,用昂贵(约为扩散泵机组的3至5倍),未能在工业应用实现随用随开,真空质量高,彻底消除油蒸汽污染;设备域推广。简而言之,真空产业迫切需要一种低成本的“无

费用和运行费用不高,甚至不到低温泵的1/2油、大抽速高真空泵机组”。

2018年,“电弧泵机组”应用于苏州彩衣真空科技有

继国教授作为“现代分子泵统计理论”“涡轮分子限公司的蒸发镜膜生产线,成功取代扩散泵机组,取得了泵微分网络理论”和“牵引分子泵自泄漏理论”的创立人


性能全面超越扩散泵机组的优异成绩。根据电弧泵蒸发镀

三十年来从未间断现代分子泵理论的研究,十年理论探索、膜莫设备和扩散泵蒸发镀膜设备的性能指标比较数据,电弧

年精心研制、十年实现产业化,铸就了多项高新科技原

泵蒸发镀膜设备具有如下显著优点

创成果,曾多次在 Journalofvacuumscience& Technology启动迅速,随用随开,产能提升50%;节能降至1/4;

Vacuun等权威期刊发表论文。他攻克了理论,结构和制造每台镀膜设备,节电30万度/年,蒸发镀膜行业全面推广工艺等难关,研制出世界上第一台兼有中,高真空双重性节电总量达40亿度/年;消除油蒸汽污染,显著提高产品

能的新一代分子泵—分子增压泵,并成功实现了产业化。


质量(例如:用于强激光器件、激光武器,显著提高器件该泵的问世,取代了大部分中,高真空的主流泵种罗茨泵的使用寿命);设备费用回收快,一年节省的电费,即可

扩散泵和分子泵,将我国分子泵产业提升到国际领先水平

收回增加的设备费用。推动真空产业进入一个低能耗,无油蒸汽污染的新时代。

蒸发镀膜是真空产业中最有代表性的大型设备,本项目的核心部件“电弧泵机组”成功取代了蒸发镀膜设备的

攻破难关电弧泵机组加速产业升级

统“扩散泵机组”,我国在用蒸发镀膜设备约2万台,

2017年,由深圳大学、苏州摩星真空、上海三井真空

按改造模式,改造费用:30万元/台,改造总量为1.2万台产学研合作,由储继国教授带领科研团队,依靠自主创新,

(在用设备总量的60%)测算,市场规模达36亿元,将产突破了一系列关键技术,终于研发成功了世界第一台低成


生不可估量的经济效益。储继国教授说,“电弧化学吸附

本、无油、大抽速高真空机组——电弧化学吸附泵机组(简泵机组已经没有攻克不了的难题,将会成为未来我国真空

称“电弧泵机组”)。这是一项科技含量高、社会、经济产业的低碳、无油升级换代新产品。效好的原创性科技成果,其核心技术“径流分子泵的工作


目前,储继国将带领团队批量生产电弧泵机组;采用


机理”,以及“电弧泵高真空、弧光放电技术难关”的攻克,新添设备升级换代和在用设备技术改造相结合模式,加速而且是典型的“中国发明、中国制造”。

行业升级换代;为镀膜厂商实施“低碳、无油”设备改造

该电弧泵机组由摩星真空自主研发的二种低碳、无油全面取代传统扩散泵机组,消除油蒸汽污染,提升产品质量。真空泵:“电弧化学吸附泵”(简称电弧泵)和“径流分子泵”储继国和他团队一直努力的方向,就是实现“低碳、

(简称径流泵)组成,其中“径流泵”利用分子牵引原理抽气无油大抽速真空机组”产业化和推广应用,这是他最大的

主要用于中真空区段抽气,抽速高出传统中真空罗茨泵3心愿。随着“电弧化学吸附泵机组”的研制成功,他的脚

5倍,能耗不到1/4,该泵还具有强劲的高真空抽气能力,步距离他的梦想又走近了一大步,我们相信,这个项目必

尤其能快速抽除高真空的惰性气体;而“电弧泵”利用高

将提升我国真空产业的整体水平,中国真空产业必将超越真空弧光放电(二者不能兼容)和化学吸附原理抽气,具发达国家,迎来一个崭新的局面!CHINA VENTURE CAPITAL中国科技投主


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