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什么是立式分子泵?

2019-07-04

一种径流式分子泵,由动叶轮1,转轴2、静叶轮3和泵壳4等组成,其特征在于: a)动、静叶轮1、3呈圆盘状,其一侧至少有一排与转轴2同心的叶列,每排叶列由若干个均布、等厚、单端与叶 轮平面相连的叶片9,叶片9与叶轮平面垂直,与叶轮半径之间的夹角为50°~75°,同一叶列上叶片歪斜角度持平,同一叶轮侧面上叶片歪斜方向相同,叶片9空弦比的最佳值为0.8~ 2: 2,动、静叶轮1、3上叶列的径向方位应叉开; b)叶片9长度较短,与动、静叶轮1、3组成整体结构,不需要附加的支护设备,静叶轮3上叶片较薄; c)动叶轮1固定在转轴2上,静叶轮3固 定在泵壳4上,动、静叶轮1、3上的叶列替换互插,在轴向和径向留有0.5~1毫米的作业空隙,其间动叶轮1外侧与泵壳4,以及静叶轮3内侧与转轴2之间的径向空隙约为5~20毫米,设备好后, 动、静叶轮1、3上的叶片歪斜方向相反。 2、一种径流式分子泵,由动叶轮5、转轴2、静叶轮6和泵壳4等组成,其特征在于: a)动叶轮5呈平圆盘状,或者外薄内厚的退拨圆盘状; b)静叶轮 6呈圆盘状,一侧至少有一条螺旋状抽气槽,

昆山分子泵jpg

槽形近似为对数螺线,抽气槽与半径间夹角为50°~75°,槽深与叶轮半径之比的最佳值为0.03~0.06,槽数最佳值为10~30,静叶轮6外侧槽数可 以高于内侧槽数; c)动叶轮5固定在转轴2上,静叶轮6固定在泵壳4上,动、 静叶轮5、6紧靠设备,轴向留有0.5~1毫米的作业空隙。动叶轮5外侧与泵壳4,以及静叶轮6内侧与转轴2之间留有 较大的径向空隙,约5~20毫米。 3、一种径流式分子泵,由动叶轮7,转轴2,静叶轮8,外壳4和动密封21等组成,其特征在于: a)动叶轮7由两只平圆盘,或两只外薄内厚的退拨状圆盘构 成,两圆盘中至少有一只盘在接近转轴2处设有均布的气孔20,並在该圆盘外侧加动密封21。 b)静叶轮8呈圆盘状,静叶轮由内、外环套23、24构成(内环套能够不用),两环套间固定着若干 条螺旋状叶片18,叶片18的形状近似为对数螺线,叶片18与叶轮半径间的夹角为50°~75°,叶片宽度与叶轮半径之比的最佳值为0.03~0.08。最佳叶片数为8~25,叶轮外侧叶片数能够多于 内侧; c)动叶轮7固定在转轴2上,静叶轮8和动密封21固定在外壳4上,动、静叶轮7、8以及动密封21之间在轴向留有0.5~1毫米的作业空隙,动叶轮7外侧与外壳4,以及静叶轮8内侧与转轴2 之间留有约5~20毫米的空隙; d)动密封21设备,也可采用静叶轮6的结构。 4、依据权力要求1所述的径流式分子泵,其特征在于动叶轮1上叶片9的厚度越接近叶轮平面越厚。 5、依据权力要 求1所述的径流式分子泵,其特征在于叶片9采用不等厚,或者渐曲折形叶片,使相邻叶片间的垂直距离在接近进气侧处较小,接近出气侧处较大。 6、依据权力要求1~5所述的径流式分子泵, 其特征在于各级 叶轮组同轴设备,相邻两级的动、静叶轮14、15上的叶片9、18,或叶槽13的歪斜方向分别相反。 7、依据权力要求1~5所述的径流式分子泵,其特征在于各级叶轮组同轴安 装,相邻二级的动、静叶轮14、15上的叶片9、18,或叶槽13的歪斜方向分别相同,动叶轮14接近转轴2处设有若干个均布的气孔20,静叶轮15外侧无现成的气体通道时,在接近泵壳4处也设有 若干连通气孔20,但不用均布。 8、依据权力要求1~7所述的径流式分子泵,其特征在于各级叶轮组同轴设备,构成串、並联组合的多级径流式分子泵。 9、依据权力要求1~8所述的径流式分 子泵,其特征在于径流式分子泵叶轮组14,15与一般轴流涡轮分子泵叶轮16同轴设备,径流和轴流叶轮间留有较大的轴向空隙,例如5~10毫米。

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