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82、磁控溅射中,磁场起什么作用?

2019-02-15

答:磁场虽不能对运动电荷做功,但是能改变运动方向,在磁控溅射中,靶面水平方向的磁场和法向的电场构成了互相垂直的电磁场,电子在正交场的作用下在垂直电场和磁场的方向上做旋轮线运动(俗称跨栏运动),而且靶面磁场的分布使这一运动形成闭合的跑道,这样就大大延长了电子的运动路程,从而显著提高了其电离的能力,




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