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(十)分子增压泵磁控溅射镀膜设备

2018-12-05

分子增压泵磁控溅射镀膜设备

储继国1,龚建华2

1.深圳大学物理科学与技术学院,2.深圳市摩尔真空技术有限公司

(广东省产学研基金项目)

 传统大型磁控溅射镀膜设备采用扩散泵抽气,能耗高,油蒸汽污染严重,影响产品质量。最近,越来越多的设备改用分子泵抽气,镀膜阶段的油蒸汽污染基本消除,能耗也有所降低,取得了较好的经济效益。然而,仍然存在如下问题:

1.粗抽阶段,油蒸汽污染严重。粗抽通常采用旋片泵+罗茨泵机组(其油蒸汽本底为10-1~10-2 Pa),粗抽压强通常为1~3Pa,此压强是返油率最高的区段,不到1秒钟,尚未镀膜的工件表面,就会形成几个分子厚的油分子薄层,严重影响镀膜产品的结合力和其它质量指标。在待镀件不能高温烘烤的场合,其危害更大。

2.有效抽速低。在磁控溅射镀膜最关键的磁控放电阶段(约0.3~0.8Pa),分子泵的抽速仅为标称值的50%,即分子泵的抽速利用率仅50%,一台泵只能作半台泵使用,浪费抽气资源。

3.能耗高。分子泵的能耗较低,但前级泵能耗很高,Φ1200×1000镀膜设备的标称抽气功率达14 kW,总能耗仍然很高。

4.开、停泵时间长,影响生产效率。主泵通常采用2台F-400分子泵,开、停泵时间约50分钟。

5.分子泵易发生打片损坏。


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MB泵磁控溅射.doc




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