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(十一)分子增压泵大型蒸发镀膜设备

2018-12-05

无扩散泵、无罗茨泵、清洁、节能的新一代蒸发镀膜设备

分子增压泵大型蒸发镀膜设备

储继国1,龚建华2,郑主安3,蒋新元3,潘尚尧4,王树理5,王雨5

1.深圳大学物理科学与技术学院  2.摩尔市真空技术有限公司

3.上海三井真空设备有限公司  4. 深圳市振恒昌实业有限公司

(2008年广东省产学研基金资助项目)

大型蒸发镀膜目前存在的问题

1.油蒸汽污染

■ 粗真空:通常采用滑阀泵,或旋片泵。它们都是有油泵,本底油蒸汽压为10-1 Pa。

■ 中真空:通常采用罗茨泵。该泵的油蒸汽污染为10-2 Pa,其污染也不能忽略。

■ 扩散泵的油蒸汽污染为10-5~10-6 Pa,该污染很难清除,是真空镀膜的头号大敌。

2.能耗高

大型蒸发镀膜设备抽气机组的典型配置有如下两种:

■ 单扩散泵机组:KT-800+ ZJ-1200+ H-150+2X-30(维持泵), 抽气能耗为35kW。

■ 双扩散泵机组:2×K-800+ ZJ-1200+ H-150+1m2深冷水汽泵+2X-30(维持泵)抽气能耗为50kW。

3.活性气体分压强高

蒸发镀膜设备频繁暴露大气,镀膜室会吸附大量水汽,因此,精抽本底中,H2O占80~90%。

近年来,部分设备开始采用深冷水汽泵(-120℃)与扩散泵一起工作,抽气时间明显缩短,油蒸汽污染也有所降低,但未能消除,然而,能耗和费用进一步增加,因此,未能在大范围内推广应用。


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MB大型蒸发镀膜设备.doc



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