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(十二)分子增压泵简介

2018-12-05

分子增压泵简介

概况

分子增压泵是深圳大学真空获得研究团队从事分子泵研究30年取得的原创性成果,最近由深圳市摩尔真空技术有限公司实现产业化。

该泵采用独特的专利技术,具有结构简单、运行可靠、节能显著、能获得十分清洁的真空、兼有中真空罗茨泵的性能等一系列优点。

分子增压泵现已用于各种真空镀膜设备、真空炉、分子蒸馏、加速器和等离子体核聚变等领域,成功取代大型扩散泵、罗茨泵和分子泵,大幅度简化真空系统结构,节省能耗、设备费用和占地空间,经济效益显著。

分子增压泵性价比高,与分子泵机组相比,费用降低20%。与扩散泵相比,半年节省电费可收回增加费用。


分子增压泵的问世,开创了多项第一:

■ 第一台兼有中、高真空双重性能的真空泵。

■ 第一台能在采用有油前级泵的大型设备中获得清洁的中、高真空。

■ 能耗最低的中真空泵,仅为罗茨泵的5-10%。

■ 泵口可以360°转动,安装方便,有效抽速高。

■ 体积小,重量轻,仅为罗茨泵的10%。

■ 结构简单,转子全部由平圆盘构成。

■ 运行可靠,攻克分子泵易打片损坏一大缺陷。

■ 能制造抽速超过10,000 L/s的大型泵。



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分子增压泵简介.doc





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