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(十三)分子增压泵连续镀膜设备

2018-12-05

分子增压泵连续镀膜设备

储继国1, 龚建华2

1. 深圳大学物理科学与技术学院,2. 深圳市摩尔真空技术有限公司

(广东省产学研基金、深圳市产学研基金资助项目)

一、背景

传统连续镀膜设备采用扩散泵+罗茨泵抽气,能耗大,油蒸汽污染严重。近年来,开始采用分子泵+罗茨泵抽气,镀膜阶段油蒸汽污染基本消除,能耗有所降低。然而,还存在如下问题:

■ 进片室仍采用罗茨泵,粗抽压强依旧为几Pa。在此压强下,不到1秒钟,工件表面就会形成几个分子厚的油膜,影响镀膜产品的结合力和其它质量指标。对于待镀工件不能高温烘烤的场合,该油蒸汽污染造成的危害更大。

■ 进片系统节拍慢,跟不上镀膜节拍,影响生产效率。

■ 磁控放电压强(0.5Pa)下,分子泵的有效抽速不到标称值的50%,浪费抽气资源。

■ 分子泵泵口通常只能向上安装,需増加直角连接弯头,抽速损失达20%。

■ 分子泵的前级泵能耗高,抽气总能耗仍然很高。

■ 受大流量气体冲击,分子泵易发生打片损坏。


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MB泵磁控溅射.doc


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