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径流牵引分子泵的研发历程

2018-12-05

一、理论研究(1982-1997)

1982:创立“分子泵的统计理论”, 揭示分子泵工作机理,指明发展方向:Statistical theories of turbo-molecular pumps, J. V. S. T. Vol.20

1994:创立“分子泵微分网络理论”,提供分子泵设计平台:Model of differential electrical network of TMP, J. V. S. T. A, Vol.11 (2) 

1997:创立“分子泵的自泄漏理论”,为径流分子泵问世提供了理论基础。

二、产品研发(1986-2007)

1986:发明“复合分子泵”,成功研制产品样机,实现工业应用,引领80年代复合分子泵热潮。

Hybrid molecular pump with large throughput, J. V. S. T, A, Vol.6

1994:发明“多重牵引分子泵”, 成功研制产品样机;Comparison between several new MDP and TMP, J. V. S. T. A, Vol.12

2005:发明“双重牵引分子泵”(径流泵原型泵),专利号:ZL200510100169.3

三、小批量生产(2008-2016)

2008:首批径流泵用于中科院重离子加速器,真空质量达到国际领先,费用不到进口设备的1/5(甘肃省科技厅甘科鉴字[2010]第361号);

2009:径流泵用于浙江英洛华磁业股份有限公司稀土永磁材料熔炼炉、烧结炉,节省抽气能耗60%,产品质量显著提高;

2012:径流泵用于江苏太平洋石英制品真空脱羟炉,产品质量达到国外高档石英管水平,表观质量优于国外产品。该公司已成为PHILIPS、GE和OSRAM等国际知名厂商高档石英管指定供应商,用户由乡镇企业跃升为上市公司。

2013:径流泵用于分子蒸馏(浙江花园生物高科),径流分子泵用于大型工业分子蒸馏设备,产品胆固醇的纯度由65%提高至95%,产品由饲料级提升至NF级(制药级),产品盈利连翻几番,用户由乡镇企业跃升为上市公司。

2014:径流泵用于连续镀膜生产线、蒸发镀膜;

2015:径流泵通过广东省科技厅科技成果鉴定,由中科院沈学础院士和国内知名专家组成的评审专家组,给予“富含原创性的科技成果”和“具有显著的经济效益和应用前景,如果能加快径流泵的产业化和推广应用的步伐,将为真空产业的升级换代作出积极贡献”的高度评价(粤科鉴字〔2013〕185号)。

2016:研发成功径流泵升级版—立式径流分子泵,抽速高出传统分子泵50%,重量减少1/2,并用于大型蒸发镀膜设备,成功取代扩散泵机组,实现节能80%,节电40万度/台年,产能翻一番,镀膜产品质量显著提高,盈利提升2倍的好成绩。

四、大批量生产(2017~  )

2017:攻克径流泵批量生产的制造技术和工艺难题,完成径流泵批量生产的准备工作;


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