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苏州摩星真空科技有限公司
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单室磁控溅射镀膜机

1.改造方案

采用3台MB200D分子增压泵+1台2XZ-15旋片泵,取代磁控溅射镀膜设备(Φ1000×1200)的3台1,200L/s复合分子泵+3台2XZ-15旋片泵+1台ZJ-300罗茨泵。

或者取代1台K-500扩散泵+1台ZJ-300罗茨泵+1台2XZ-70泵旋片泵。

2.经济效益

1)节能50-80%,年节电3-6万度。

2)一年节省的电费可收回设备费用。

3)消除粗抽和镀膜阶段的油蒸汽污染,提高镀膜产品的质量。

4)磁控镀膜阶段:抽速增加至传统设备的1.2

-2倍,活性气体分压强显著降低。

5)粗抽泵可供多套设备共用。

3. 特别关注:

1)粗抽阶段:

 粗抽泵将镀膜室的压强抽得太低,基片会受油蒸汽污染。应抽至约50Pa。

2)精抽阶段:

■精抽目的是降低镀膜室的放气率Qd , Qd = Po×Se ,本底压强Po不是精抽的判据!

■放气率相同,有效抽Se越大,Po越低。Se越小,Po越高。

■不同抽速的泵,  只要将放气率降至相同,则精抽效果相同。分子增压泵的Se为扩散泵的60%, 本底压强Po应为扩散泵的1.6倍。

■降低放气率的措施:提高烘烤温度,增加烘烤时间,与真空度(即精抽泵的抽速)关系不大。本例中,精抽抽速降低,因粗抽时间缩短,烘烤时间有所增加,精抽质量反而提高。

2)溅射镀膜阶段:

■镀膜阶段主要真空质量指标:活性气体分压强Pi , Pi = Qd /Sc, Sc为镀膜阶段的有效抽速。故放气率相同时,有效抽速Sc越大,活性气体分压强Pi越低,镀膜真空环境越好。

■磁控放电压强约0.5Pa。扩散泵稳定工作压强约8×10-2Pa,分子泵0.5 Pa的抽速明显下降,故均需采用节流技术。

■节流使真空泵的有效抽速显著降低。扩散泵节流后的抽速仅为标称抽速1/6,  负面影响显著。节流是一种无奈之举。

■分子增压泵的最高工作压强达100Pa,不需要节流,抽速全部利用。因此,溅射镀膜时, 一台分子增压泵可以取代抽速6倍的扩散泵,抽速1.5倍的传统分子泵。


单室磁控溅射镀膜机


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